拓荆科技(上海)有限公司孙萌萌获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利用于横流结构的扩散器以及半导体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607360U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423004364.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型用于横流结构的扩散器以及半导体处理设备是由孙萌萌;冯嘉恒;刘英明;赵郁晗;潘英豪设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于横流结构的扩散器以及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了用于横流结构的扩散器以及半导体处理设备。所述扩散器包括进气模块及扩散本体。所述进气模块包括第一进气通道以及围绕所述第一进气通道设置的第二进气通道；所述扩散本体具有上层通道、下层通道、第一组流气通道以及与第二组流气通道；所述上层通道与所述第二进气通道连通，所述下层通道与所述第一进气通道连通；所述第一组流气通道包括多个竖直排布的流气通道，与所述下层通道连通；所述第二组流气通道包括多个竖直排布的流气通道，与所述上层通道连通。
本实用新型用于横流结构的扩散器以及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于横流结构的扩散器，其特征在于，包括进气模块及扩散本体； 所述进气模块包括第一进气通道以及围绕所述第一进气通道设置的第二进气通道； 所述扩散本体具有上层通道、下层通道、第一组流气通道以及与第二组流气通道； 所述上层通道与所述第二进气通道连通，所述下层通道与所述第一进气通道连通； 所述第一组流气通道包括多个竖直排布的流气通道，与所述下层通道连通； 所述第二组流气通道包括多个竖直排布的流气通道，与所述上层通道连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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