合肥高纳半导体科技有限责任公司夏海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥高纳半导体科技有限责任公司申请的专利一种特气进气的气路装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607362U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423149839.X,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种特气进气的气路装置是由夏海洋;张旭;方宏;陈智利;吴峰设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种特气进气的气路装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种特气进气的气路装置,该特气进气的气路装置包括腔体和坩埚,坩埚设置在腔体内,腔体上方插入连接导向管,连接导向管一端与等径三通管连接,沿等径三通管的进气口导入特气,连接导向管远离等径三通管一端连接有石墨棒,石墨棒插入坩埚内,以使特气沿石墨棒通入坩埚;连接导向管上连接有视窗口,以对坩埚内部测温。本实用新型提供的特气进气的气路装置通过在连接导向管上连接石墨棒,特气沿与等径三通管连接的进气口进入,经过连接导向管,通过石墨棒进入到坩埚内,使特气快速且均匀的完全充满坩埚,保证了晶体的生长质量。本申请的结构简单,容易制作、且操作方便,能有效改变传统进气方式的不足,可行性较高。
本实用新型一种特气进气的气路装置在权利要求书中公布了:1.一种特气进气的气路装置,其特征在于,包括腔体和坩埚,坩埚设置在腔体内,腔体上方插入连接导向管,连接导向管一端与等径三通管连接,沿等径三通管的进气口导入特气,连接导向管远离等径三通管一端连接有石墨棒,石墨棒插入坩埚内,以使特气沿石墨棒通入坩埚;连接导向管上连接有视窗口,以对坩埚内部测温。
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