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纳设智能装备(江苏)有限公司王彦涛获国家专利权

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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利升降装置及沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607363U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423225370.3,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型升降装置及沉积设备是由王彦涛;赵宝鑫;胡雄武;杨承枪;陈炳安;钟国仿设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

升降装置及沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种升降装置及沉积设备,升降装置包括支座、活动组件、驱动组件和载物板。活动组件包括固定部和活动部,固定部连接于支座,活动部连接于固定部,且活动部受驱相对固定部沿第一方向活动;驱动组件连接于固定部,驱动组件包括驱动部,驱动部连接于活动部,以驱使活动部活动;载物板连接于活动部,载物板跟随活动部沿第一方向活动,载物板用于承载样品。本实用新型的升降装置能够便于调节载物板和喷淋组件之间的间距,提高样品的沉积效率。具有上述升降装置的沉积设备也具有上述的优点。

本实用新型升降装置及沉积设备在权利要求书中公布了:1.升降装置,其特征在于,包括: 支座; 活动组件,包括固定部和活动部,所述固定部连接于所述支座,所述活动部连接于所述固定部,且所述活动部受驱相对所述固定部沿第一方向活动; 驱动组件,连接于所述固定部,所述驱动组件包括驱动部,所述驱动部连接于所述活动部,以驱使所述活动部活动;以及 载物板,连接于所述活动部,所述载物板跟随所述活动部沿第一方向活动,所述载物板用于承载样品。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司,其通讯地址为:226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋1、4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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