纳设智能装备(江苏)有限公司经军辉获国家专利权
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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利进气装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423281575.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型进气装置及镀膜设备是由经军辉;肖蕴章;黄帅帅;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提出了一种进气装置及镀膜设备，进气装置包括装置主体、气管组件、第一匀气组件、第二匀气组件和第三匀气组件，气管组件设有第一开口和第二开口，气管组件与装置主体连接；第二匀气组件设有多个第一通孔；第三匀气组件设有多个第二通孔；沿第一方向，第二匀气组件与装置主体连接，第一匀气组件连接于第二匀气组件靠近装置主体的一侧，第三匀气组件连接于第二匀气组件背离装置主体的一侧，且第二开口朝向第一匀气组件，气管组件配置为通过第二开口进气，以使气体依次经过第一匀气组件、各第一通孔和各第二通孔。镀膜设备包括设备主体和上述进气装置。本申请的进气装置及镀膜设备能够增加气流的均匀性，提高镀膜质量。
本实用新型进气装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种进气装置，其特征在于，包括： 装置主体； 气管组件，设有第一开口和第二开口，所述气管组件与所述装置主体连接； 第一匀气组件； 第二匀气组件，设有多个第一通孔； 第三匀气组件，设有多个第二通孔； 其中，沿第一方向，所述第二匀气组件与所述装置主体连接，所述第一匀气组件连接于所述第二匀气组件靠近所述装置主体的一侧，所述第三匀气组件连接于所述第二匀气组件背离所述装置主体的一侧，且所述第二开口朝向所述第一匀气组件，所述气管组件配置为通过所述第二开口进气，以使气体依次经过所述第一匀气组件、各所述第一通孔和各所述第二通孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司，其通讯地址为：226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋1、4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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