江苏微导纳米科技股份有限公司左敏获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607366U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423291497.5,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型一种镀膜设备是由左敏;陈昌俊设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种镀膜设备,镀膜设备包括反应室和盖体组件,反应室形成工作腔以及与工作腔连通的敞口端;盖体组件设于敞口端;盖体组件包括腔盖、进气结构和加热件,腔盖用于盖设于敞口端,进气结构设置于腔盖,进气结构和腔盖之间形成加热空间,加热件活动设置于加热空间,加热件与进气结构之间的距离可调。本申请中,在盖体组件中同时设置进气结构和加热件,解决了进气结构预热时间长、温度低的问题,大大提高了进气结构工艺时的温度,提高镀膜效率和产量。
本实用新型一种镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,包括: 反应室,所述反应室形成工作腔以及与所述工作腔连通的敞口端; 盖体组件,设于所述敞口端;所述盖体组件包括腔盖、进气结构和加热件,所述腔盖用于盖设于所述敞口端,所述进气结构设置于所述腔盖,所述进气结构和所述腔盖之间形成加热空间,所述加热件活动设置于所述加热空间,所述加热件与所述进气结构之间的距离可调。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司,其通讯地址为:214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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