杭州朗迅科技股份有限公司邸维超获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州朗迅科技股份有限公司申请的专利一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612027U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423060139.3，技术领域涉及：G09B25/02；该实用新型一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置是由邸维超;朱光;李志忠设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置，用于直观演示PVD溅射原理，该装置包括：溅射腔、3D腔、投影屏、透明玻璃板、滚珠丝杠套件、转动盘、晶圆盘、溅射靶、仿真离子发射器及溅射靶挡板；所述溅射腔放置于3D腔内，晶圆盘置于转动盘上；通过滚珠丝杠套件驱动溅射靶及仿真离子发射器实现上下运动，通过仿真离子发射器模拟离子发射至所述晶圆盘处的效果，与此同时，投影屏播放溅射过程的视频，通过透明玻璃板的折射，使视频内容投影至溅射靶与晶圆盘之间，形成虚实结合的动态演示效果；本实用新型将PVD溅射仿真与3D投影技术结合，直观展示PVD溅射原理，便于学生和研究人员理解溅射过程，具有显著的教学价值和推广意义。
本实用新型一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置在权利要求书中公布了：1.一种虚实结合的PVD溅射原理演示装置，其特征在于，包括：投影模块和PVD溅射仿真模块，所述PVD溅射仿真模块位于所述投影模块的投影方位； 所述PVD溅射仿真模块包括： 溅射腔1； 晶圆盘2，设置于溅射腔1内部； 溅射靶7，其内部设置有仿真离子发射器8； 仿真离子发射器8，用于模拟离子发射的效果； 所述投影模块包括：投影屏12，用于播放溅射原理的视频并投影至溅射靶7与晶圆盘2之间的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州朗迅科技股份有限公司，其通讯地址为：310053 浙江省杭州市滨江区六和路368号海创基地南楼5F；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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