株式会社斯库林集团佐佐木光敏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068355B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110855316.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由佐佐木光敏;高桥朋宏;佐藤昌治;杉冈真治设计研发完成，并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够容易地确认气泡供给管的开口的状态的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置100B具备处理槽110、气泡供给管180A、气体供给管261A、物理量检测部253A和判定部12。处理槽110贮留处理液LQ并浸渍基板W。气泡供给管180A具有向处理液LQ中供给气体以形成气泡的多个开口G。气体供给管261A向气泡供给管180A供给气体。物理量检测部253A通过气体供给管261A检测由气泡供给管180A的状态引起的物理量。判定部12基于物理量判定多个开口G的状态。
本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 具备： 处理槽，用于贮留处理液并浸渍基板； 气泡供给管，具有向所述处理液中供给气体以形成气泡的多个开口； 气体供给管，向所述气泡供给管供给所述气体； 物理量检测部，通过所述气体供给管检测由所述气泡供给管的状态引起的物理量；以及 判定部，基于所述物理量来判定所述多个开口的状态， 所述物理量检测部包含： 压力计，检测所述气体供给管中的压力，以及 调节阀，控制向所述气体供给管供给的所述气体的流量； 所述物理量表示所述气体供给管中的压力以及所述调节阀的开度， 所述调节阀在处理所述基板时，向所述气体供给管供给第一流量的所述气体， 所述判定部基于向所述气体供给管供给所述第一流量的所述气体时的所述开度，来判定所述多个开口的状态，并且， 所述判定部基于向所述气体供给管供给比所述第一流量多的第二流量的所述气体时的所述气体供给管中的压力，来确定所述多个开口的状态。
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