长春长光华大智造测序设备有限公司苗亮获国家专利权
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龙图腾网获悉长春长光华大智造测序设备有限公司申请的专利光学参数检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115046736B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110257005.2,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权光学参数检测系统及方法是由苗亮;陈新东;张鑫;马庆坤设计研发完成,并于2021-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学参数检测系统及方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种光学参数检测系统,用于检测待测物镜的光学参数,包括:波前传感器,波前传感器收发测试光;光引导组件,光引导组件包括转台和设置于转台上的转折镜;转台旋转带动转折镜旋转以将测试光以不同角度反射至待测物镜,并将待测物镜处的测试光以不同角度反射至波前传感器;以及球面反射镜,待测物镜的检测位置位于光引导组件与球面反射镜之间,球面反射镜位于待测物镜的像侧且可沿待测物镜的光轴移动,用于将待测物镜出射的测试光反射至待测物镜;波前传感器基于转台的旋转角度检测待测物镜在不同视场下的波像差并根据波像差及球面反射镜的位移获得待测物镜的光学参数。本申请还提供一种光学参数检测方法。
本发明授权光学参数检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种光学参数检测系统,用于检测待测物镜的光学参数,其特征在于,包括: 波前传感器,所述波前传感器收发测试光; 光引导组件,所述光引导组件包括转台和设置于所述转台上的转折镜;所述转台旋转带动所述转折镜旋转以将所述测试光以不同角度反射至所述待测物镜,并将所述待测物镜处的所述测试光以不同角度反射至所述波前传感器; 球面反射镜,所述待测物镜的检测位置位于所述光引导组件与所述球面反射镜之间,所述球面反射镜位于所述待测物镜的像侧且可沿所述待测物镜的光轴移动,用于将所述待测物镜出射的所述测试光反射至所述待测物镜;所述波前传感器基于所述转台的旋转角度检测所述待测物镜在不同视场下的波像差,并根据所述波像差获得所述待测物镜的视场、渐晕信息及数值孔径,根据所述波像差及所述球面反射镜的位移获得所述待测物镜的远心度; 平行平板,设置在所述待测物镜远离所述球面反射镜一侧并与所述光轴垂直; 激光干涉测距仪,安装在所述球面反射镜一侧且位于所述待测物镜光轴外;以及 三面反射镜,位于所述激光干涉测距仪与所述球面反射镜之间,所述三面反射镜与所述球面反射镜可同步位移;所述激光干涉测距仪用于测量所述三面反射镜的位置;所述三面反射镜包括两两垂直的第一反射面、第二反射面及第三反射面,所述第一反射面的法线与所述待测物镜的光轴平行,所述第二反射面的法线与所述平行平板平行,所述激光干涉测距仪发出的检测光经分光和反射后分别经所述三面反射镜的不同反射面传递至所述球面反射镜,所述第一反射面对应的光路为所述待测物镜的场曲测试光路,所述第二反射面对应的光路为所述待测物镜的畸变和焦距测试光路。
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