河北光森电子科技有限公司夏光普获国家专利权
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龙图腾网获悉河北光森电子科技有限公司申请的专利一种晶圆去胶剥离清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223616322U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422964378.5，技术领域涉及：B08B1/36；该实用新型一种晶圆去胶剥离清洗装置是由夏光普;王树华;刘晶晶设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆去胶剥离清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆去胶剥离清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括底座，底座中部两侧固定设有相对称的支撑座，底座的中部设有排水槽，排水槽的中部设有顶板，支撑座的中线上设有升降轨，升降轨上滑动设有升降座，升降座内设有支撑弹簧，支撑弹簧连接有弹簧杆，弹簧杆延伸处升降座并固定设有弧形夹板，弧形夹板相对的一侧设有夹槽，顶板上方设有传动带，传动带上输送有阵列的晶圆，弹簧杆与弧形夹板所连处偏离弧形夹板的中线，底座位于弧形夹板的两侧通过驱动结构设有立起的刷洗盘。本实用新型结构简单，可以自动化对晶圆进行去胶剥离清洗，在对晶圆夹取时可以将晶圆立起，同时对晶圆两面进行清洗，实用性强，适合推广。
本实用新型一种晶圆去胶剥离清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆去胶剥离清洗装置，包括底座1，其特征在于，所述底座1中部两侧固定设有相对称的支撑座2，所述底座1的中部设有排水槽4，所述排水槽4的中部通过安装座18固定设有顶板3，所述支撑座2的中线上设有升降轨5，所述升降轨5上滑动设有升降座6，所述安装座18上设有输出端垂直向下的第二伸缩杆17，所述升降座6底部固定设有贯穿出底座1的升降杆8，所述升降杆8与第二伸缩杆17的输出端相连； 所述升降座6内设有支撑弹簧15，所述支撑弹簧15连接有弹簧杆16，所述弹簧杆16延伸处升降座6并固定设有弧形夹板7，所述弧形夹板7相对的一侧设有夹槽20，所述顶板3上方设有传动带9，所述传动带9上输送有阵列的晶圆19； 所述弹簧杆16与弧形夹板7所连处偏离弧形夹板7的中线，所述底座1位于弧形夹板7的两侧通过驱动结构设有立起的刷洗盘14。
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