科芯微(江苏)微电子有限公司杨军获国家专利权
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龙图腾网获悉科芯微(江苏)微电子有限公司申请的专利一种超声水浴槽抛动清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223616369U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422914206.7,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种超声水浴槽抛动清洗装置是由杨军;高艳;关周设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声水浴槽抛动清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种超声水浴槽抛动清洗装置,包括外槽体以及置于外槽体内部的内槽体,内槽体内具有放置工件的清洗吊篮,外槽体的外侧具有驱动清洗吊篮整体上下往复移动的驱动组件;驱动组件包括设置在外槽体一侧的固定架以及置于固定架上的驱动电机,固定架上具有垂直轨道,垂直轨道上具有上下往复滑动的滑动块,连接板与驱动电机的驱动端之间具有升降驱动组,升降驱动组随着驱动电机的圆周转动而带动横向固定板、吊杆以及滑动块整体沿着垂直轨道的方向上下垂直移动,进而带动清洗吊篮内的工件在内槽体内作上下垂直运动。本实用新型具有如下优点:便于实现硅片与花篮的整体式拆卸,提高硅片的清洗效率。
本实用新型一种超声水浴槽抛动清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种超声水浴槽抛动清洗装置,其特征在于:包括外槽体1以及置于外槽体1内部的内槽体2,所述内槽体2内具有放置工件的清洗吊篮3,所述外槽体1的外侧具有驱动清洗吊篮3整体上下往复移动的驱动组件5; 所述驱动组件5包括设置在外槽体1一侧的固定架51以及置于固定架51上的驱动电机52,所述固定架51上具有垂直轨道53,所述垂直轨道53上具有上下往复滑动的滑动块54,所述滑动块54远离垂直轨道53的端面具有横向固定板55,所述横向固定板55的延伸方向与垂直轨道53的延伸方向相互垂直,所述横向固定板55的两侧端向着清洗吊篮3的方向分别水平延伸有吊杆56,两个吊杆56分别与清洗吊篮3的两侧端接触连接,所述横向固定板55靠近驱动电机52的端面中心位置具有连接板57,所述连接板57与驱动电机52的驱动端之间具有升降驱动组58,所述升降驱动组58随着驱动电机52的圆周转动而带动横向固定板55、吊杆56以及滑动块54整体沿着垂直轨道53的方向上下垂直移动,进而带动清洗吊篮3内的工件在内槽体2内作上下垂直运动。
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