北京特思迪半导体设备有限公司曾星明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利修整头及抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223617462U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423249809.6，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型修整头及抛光设备是由曾星明;郝元龙;寇明虎设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本修整头及抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种修整头及抛光设备，涉及半导体加工设备的技术领域，包括：修整装置，能够以旋转的方式对抛光垫的表面进行打磨修整；清理装置，能够以旋转的方式对抛光垫的表面进行清理，所述清理装置的内部开设有用于收纳所述修整装置的收纳腔，所述收纳腔贯穿所述清理装置的底部，所述修整装置能够从所述清理装置的底部伸出；旋转驱动装置，能够输出旋转动力以用于带动所述修整装置和所述清理装置转动；移动装置，用于带动所述修整装置和或所述清理装置移动，使所述修整装置能够收入伸出所述收纳腔。解决了相关技术中占空间较大，对于狭小空间无法适用的问题。
本实用新型修整头及抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种修整头，其特征在于，包括： 修整装置1，能够以旋转的方式对抛光垫的表面进行打磨修整； 清理装置2，能够以旋转的方式对抛光垫的表面进行清理，所述清理装置2的内部开设有用于收纳所述修整装置1的收纳腔7，所述收纳腔7贯穿所述清理装置2的底部，所述修整装置1能够从所述清理装置2的底部伸出； 旋转驱动装置3，能够输出旋转动力以用于带动所述修整装置1和所述清理装置2转动； 移动装置，用于带动所述修整装置1和或所述清理装置2移动，使所述修整装置1能够收入伸出所述收纳腔7。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司，其通讯地址为：101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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