荣芯半导体(宁波)有限公司路超超获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利应用于化学机械抛光设备的检测工具及化学机械抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223617478U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423043841.9，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型应用于化学机械抛光设备的检测工具及化学机械抛光装置是由路超超设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于化学机械抛光设备的检测工具及化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种应用于化学机械抛光设备的检测工具及化学机械抛光装置，化学机械抛光设备包括抛光组件，抛光组件至少包括抛光盘、抛光垫、修整器、抛光液传输臂和抛光头，抛光盘用于放置抛光垫，检测工具包括：圆盘形的主体部，主体部适于设置于抛光盘；多个圆弧刻度线，设置在主体部的表面，多个圆弧刻度线沿着主体部的径向方向等间隔排布；直线刻度线，设置在主体部的表面并沿着主体部的径向延伸，其中，通过圆弧刻度线测量修整器和抛光液传输臂相对抛光垫的位置，直线刻度线用于测量抛光头相对抛光垫的位置。本申请的检测工具可以同时测量抛光头、抛光液传输臂和修整器的位置，操作方法方便简单。
本实用新型应用于化学机械抛光设备的检测工具及化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于化学机械抛光设备的检测工具，其特征在于，所述化学机械抛光设备包括抛光组件，所述抛光组件至少包括抛光盘、抛光垫、修整器、抛光液传输臂和抛光头，所述抛光盘用于放置所述抛光垫，所述检测工具包括： 圆盘形的主体部，所述主体部适于设置于所述抛光盘； 多个圆弧刻度线，设置在所述主体部的表面，多个所述圆弧刻度线沿着所述主体部的径向方向等间隔排布； 直线刻度线，设置在所述主体部的表面并沿着所述主体部的径向延伸，其中，通过所述圆弧刻度线测量所述修整器和所述抛光液传输臂相对所述抛光垫的位置，所述直线刻度线用于测量所述抛光头相对所述抛光垫的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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