深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司刘水龙获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利供给装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223617508U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423304123.2,技术领域涉及:B24B57/02;该实用新型供给装置及化学机械研磨设备是由刘水龙设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本供给装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种供给装置及化学机械研磨设备,供给装置包括支撑臂、用于提供研磨液的供给管、以及可拆卸地装配于支撑臂上的转接头;其中,转接头具有一个进液口和多个出液孔,进液口连接供给管,出液孔连通进液口,出液孔用于朝向化学机械研磨设备的研磨垫,以使从进液口流入的研磨液经多个出液孔流出后落在研磨垫上。提高研磨液分散于研磨垫上的均匀度;且在转接头出现研磨液结晶时,可以将转接头拆卸下来,便于对转接头进行清洗。
本实用新型供给装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种供给装置,应用于化学机械研磨设备,其特征在于,包括: 支撑臂; 用于提供研磨液的供给管; 可拆卸地装配于所述支撑臂上的转接头; 其中,所述转接头具有一个进液口和多个出液孔,所述进液口连接所述供给管,所述出液孔连通所述进液口,所述出液孔用于朝向所述化学机械研磨设备的研磨垫,以使从所述进液口流入的研磨液经多个所述出液孔流出后落在所述研磨垫上。
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