重庆博硕自动化设备有限公司姚文虎获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆博硕自动化设备有限公司申请的专利半导体晶圆转运水车获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223618743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520150542.0,技术领域涉及:B62B3/00;该实用新型半导体晶圆转运水车是由姚文虎;李勇;于广金设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆转运水车在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆运输技术领域,具体涉及一种半导体晶圆转运水车,包括车体,还包括行走轮、推把、盖板、限位机构、晶圆放置机构、排水管和排水阀,行走轮活动设置在车体下方,推把设置在车体外,盖板拆卸设置在车体上,限位机构用于将盖板限位固定在车体上,晶圆放置机构位于车体内,用于放置待转运的晶圆,排水管与车体连通,并位于车体内底部,排水阀与排水管连通,并伸出到车体外,用于控制排水管排出的水源的流速,由于在对晶圆进行转运时,清洁液可对晶圆上存在的灰尘等杂质进行时刻清洁,从而使得在转运完成后,不需要再次清洁,进而缩短了晶圆的生产加工时间,提高了晶圆的制备效率。
本实用新型半导体晶圆转运水车在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆转运水车,包括车体,其特征在于: 还包括行走轮、推把、盖板、限位机构、晶圆放置机构、排水管和排水阀,所述行走轮活动设置在所述车体下方,所述推把设置在所述车体外,所述盖板拆卸设置在所述车体上,所述限位机构用于将所述盖板限位固定在所述车体上,所述晶圆放置机构位于所述车体内,用于放置待转运的晶圆,所述排水管与所述车体连通,并位于所述车体内底部,所述排水阀与所述排水管连通,并伸出到所述车体外,用于控制所述排水管排出的水源的流速。
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