四川斯帕氪漫步科技有限公司刘一凡获国家专利权
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龙图腾网获悉四川斯帕氪漫步科技有限公司申请的专利一种引线框架抗氧化作业系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223620468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520021898.4,技术领域涉及:C23C16/26;该实用新型一种引线框架抗氧化作业系统是由刘一凡;蒲欢;林发明设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种引线框架抗氧化作业系统在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例提供了一种引线框架抗氧化作业系统,涉及半导体领域。该引线框架抗氧化作业系统包括传输件、加热源、等离子体电源、第一进气管、加热罩以及沉积腔体;传输件用于传输引线框架,加热源连接于加热罩,等离子体电源和第一进气管均连接于沉积腔体,第一进气管向沉积腔体输入碳源气体,加热罩位于沉积腔体的下侧,加热找和沉积腔体用于在外力作用下靠近传输件,以罩设于引线框架进行等离子体沉积。在工作过程中,加热源向加热罩提供热能,等离子体电源则用于提供能量使得由第一进气管输入的碳源气体在沉积腔体内形成等离子体,便于在引线框架上沉积形成石墨烯涂层,进而提高引线框架的抗氧化能力,避免对使用性能产生负面影响。
本实用新型一种引线框架抗氧化作业系统在权利要求书中公布了:1.一种引线框架抗氧化作业系统,其特征在于,包括: 传输件110、加热源120、等离子体电源125、第一进气管130、加热罩140以及沉积腔体150; 其中,所述传输件110用于传输引线框架,所述加热源120连接于所述加热罩140,所述等离子体电源125和所述第一进气管130均连接于所述沉积腔体150,所述第一进气管130用于向所述沉积腔体150输入碳源气体,所述加热罩140位于所述沉积腔体150的下侧,所述加热罩140和所述沉积腔体150用于在外力作用下靠近所述传输件110,以罩设于所述引线框架进行等离子体沉积。
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