安徽安芯电子科技股份有限公司汪良恩获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽安芯电子科技股份有限公司申请的专利CVD沉积进出炉载具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223620470U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520018407.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型CVD沉积进出炉载具是由汪良恩;张小明;安启跃设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本CVD沉积进出炉载具在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种CVD沉积进出炉载具，涉及半导体芯片加工技术领域。所述载具在载筒尾部通过尾部连接件连接保护盖，尾部连接件通过尾板封闭载筒尾部，通过法兰板与保护盖连接，尾板与法兰板通过支架连接，使得尾板不再直接接触拉杆，保护盖对法兰板进行保护，提升法兰板的使用寿命，在此基础上，即使法兰板损伤也不会影响尾板的功能，载具依然能够继续使用，进一步提升了载具的使用寿命。
本实用新型CVD沉积进出炉载具在权利要求书中公布了：1.一种CVD沉积进出炉载具，其特征在于，所述载具包括：载筒10、尾部连接件20和保护盖30； 所述尾部连接件20包括：尾板21、支架22和法兰板23； 所述尾板21焊接在载筒10的尾部内壁； 所述支架22一端与尾板21连接，另一端延伸至载筒10外连接法兰板23； 所述法兰板23开设有尾孔24； 所述保护盖30与法兰板23法兰连接，保护盖30开设有与尾孔24匹配的保护孔31。
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