江苏微导纳米科技股份有限公司王国睿获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种前驱体管路及薄膜沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223620471U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323081.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种前驱体管路及薄膜沉积系统是由王国睿;龚炳建设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种前驱体管路及薄膜沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种前驱体管路及薄膜沉积系统，涉及半导体设备领域。该前驱体管路包括管体、流量调节装置与针阀，管体具有用于连接前驱体源的输入端，以及用于连接反应腔室的输出端；流量调节装置与针阀均设置于管体上，且流量调节装置处于输入端与针阀之间。本实用新型提供的前驱体管路能够降低针阀调节难度与压力偏移风险。
本实用新型一种前驱体管路及薄膜沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种前驱体管路，其特征在于，包括管体100、流量调节装置200与针阀300，所述管体100具有用于连接前驱体源21的输入端，以及用于连接反应腔室22的输出端； 所述流量调节装置200与所述针阀300均设置于所述管体100上，且所述流量调节装置200处于所述输入端与所述针阀300之间。
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