上海新傲科技股份有限公司吴庆东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲科技股份有限公司申请的专利外延装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223620535U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422988961.X，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型外延装置是由吴庆东;汪金梅;诸良;盛佳俊;黄俊设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本外延装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种外延装置。所述外延装置包括生长腔室、传输腔室、装载腔室及气体平衡结构，所述传输腔室位于所述生长腔室与所述装载腔室之间；其中，所述气体平衡结构包括：第一气源；热排风管；第一真空发生器，包括第一进气口、第一排气口和第一真空吸入口，所述第一进气口与所述第一气源连通，所述第一排气口与所述热排风管连通，所述第一真空吸口与所述传输腔室连通。本实用新型避免了热排风管中的残余空气进入生长腔室，确保了生长腔室内的洁净度，进而改善了生长腔室内外延工艺的质量。
本实用新型外延装置在权利要求书中公布了：1.一种外延装置，其特征在于，包括生长腔室、传输腔室、装载腔室及气体平衡结构，所述传输腔室位于所述生长腔室与所述装载腔室之间；其中，所述气体平衡结构包括： 第一气源； 热排风管； 第一真空发生器，包括第一进气口、第一排气口和第一真空吸入口，所述第一进气口与所述第一气源连通，所述第一排气口与所述热排风管连通，所述第一真空吸入口与所述传输腔室连通。
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