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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利一种半导体制造中化学药液输送用三向阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223622277U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423301276.1，技术领域涉及：F16K11/02；该实用新型一种半导体制造中化学药液输送用三向阀是由许培元;巩森;郑振祥;陈明;王铭志设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造中化学药液输送用三向阀在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体制造中化学药液输送用三向阀，从上往下依次包括机构主体和安装底板；在机构主体上安装有机构入口、机构第一出口和机构第二出口，在机构主体内的工作腔室内设置有内嵌套，内嵌套的中部与机构入口相连通，内嵌套的上部与机构第一出口相连通，内嵌套的下部与机构第二出口相连通；还包括执行机构组件和三向阀密封组件。本实用新型优化以往阀门的密封结构，使阀门在运行过程中，大大降低产生颗粒物的几率。

本实用新型一种半导体制造中化学药液输送用三向阀在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造中化学药液输送用三向阀，从上往下依次包括机构主体1和安装底板15； 其特征在于： 在所述机构主体1上安装有机构入口22、机构第一出口23和机构第二出口24，在所述机构主体1内的工作腔室内设置有内嵌套2，所述内嵌套2的中部与机构入口22相连通，所述内嵌套2的上部与机构第一出口23相连通，所述内嵌套2的下部与机构第二出口24相连通； 还包括执行机构组件和三向阀密封组件； 所述执行机构组件包括执行机构本体3、执行机构顶端部7和执行机构底端部8，所述执行机构本体3安装在机构主体1的顶部，所述执行机构顶端部7安装在执行机构本体3的顶部，所述执行机构底端部8安装在机构主体1的底部，所述安装底板15安装在执行机构底端部8的底部，在所述执行机构顶端部7上安装有第一进气口25，在所述执行机构本体3上安装有第二进气口26； 在所述执行机构本体3和执行机构顶端部7之间安装有上执行机构轴4，在所述执行机构底端部8内安装有下执行机构轴9； 所述三向阀密封组件从上往下依次包括上双头隔膜12、隔膜连接柱13和下双头隔膜14，所述隔膜连接柱13位于内嵌套2内，安装在所述隔膜连接柱13顶部的上双头隔膜12与上方的上执行机构轴4相连接，安装在所述隔膜连接柱13底部的下双头隔膜14与下方的下执行机构轴9相连接。

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