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龙图腾网获悉先微精艺(苏州)科技有限公司申请的专利一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223622330U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423301263.4，技术领域涉及：F16K17/30；该实用新型一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀是由许培元;巩森;郑振祥;陈明;王铭志设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀，从上往下依次包括机构主体和安装底板；在机构主体上从左往右依次设置有入口端流道和出口端流道，在上第二级台阶的顶部右侧开设有与出口端流道相连通的出口端腰槽，在下第二级台阶的底部左侧开设有与入口端流道相连通的入口端腰槽；还包括执行机构组件和密封组件。本实用新型可动态调整输入流体的压力，使输出的流体压力稳定输出，减少外部输入流体压力波动对阀门输出流体压力的影响。

本实用新型一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造中化学药液输送用气动定压隔膜阀，从上往下依次包括机构主体9和安装底板4； 其特征在于： 在所述机构主体9上从左往右依次设置有入口端流道107和出口端流道110，在所述机构主体9的顶部内侧从外至内依次设置有上第一级台阶101和上第二级台阶104，在所述机构主体9的底部内侧从外至内依次设置有下第一级台阶103和下第二级台阶106，在所述上第二级台阶104的内侧中部开设有中心通孔105，在所述上第二级台阶104的顶部右侧开设有与出口端流道110相连通的出口端腰槽109，在所述下第二级台阶106的底部左侧开设有与入口端流道107相连通的入口端腰槽108； 还包括执行机构组件和密封组件； 所述执行机构组件从上往下依次包括执行机构顶端部13和执行机构底端部6，所述执行机构顶端部13安装在机构主体9的顶部，所述执行机构底端部6安装在机构主体9的底部，所述安装底板4安装在执行机构底端部6的底部，在所述执行机构底端部6内安装有执行机构轴7，在所述执行机构顶端部13的顶部开设有进气孔113； 所述密封组件从上往下依次包括上隔膜12、隔膜连接柱11和下双头隔膜8，所述隔膜连接柱11位于中心通孔105内，安装在所述隔膜连接柱11顶部的上隔膜12位于执行机构顶端部13与机构主体9之间，安装在所述隔膜连接柱11底部的下双头隔膜8与下方的执行机构轴7相连接。

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