浙江创芯集成电路有限公司王若曦获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利防止气体倒灌的管路结构及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223622714U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520433372.7，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型防止气体倒灌的管路结构及半导体制造设备是由王若曦;龙飞飞;汪平设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止气体倒灌的管路结构及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种防止气体倒灌的管路结构及半导体制造设备，其中防止气体倒灌的管路结构包括：至少一个的气柜，所述气柜具有出气管路；主管路，所述出气管路连接在所述主管路的一端上，所述主管路的另外一端与气体消耗端连通；单向阀位于所述出气管路上，所述单向阀的出气口朝向所述主管路设置；通过在出气管路上设置单向阀，能够很好的防止当气体消耗端停止要气体的时候，气体不会倒灌到气柜内，避免了对气柜和管路的损伤，同时通过在出气管路上设置单向阀，确保气体只能从气柜流向气体消耗端，从而提高系统的安全性；通过在出气管路上设置单向阀，能够很好的防止当气体消耗端停止要气体的时候，气体不会倒灌到气柜内，避免了对气柜和管路的损伤，同时通过在出气管路上设置单向阀，确保气体只能从气柜流向气体消耗端，从而提高系统的安全性。
本实用新型防止气体倒灌的管路结构及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种防止气体倒灌的管路结构，其特征在于，包括： 至少一个气柜，所述气柜具有出气管路； 主管路，所述出气管路连接在所述主管路的一端上，所述主管路的另外一端与气体消耗端连通； 位于所述出气管路上的单向阀，所述单向阀的出气口端朝向所述主管路设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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