苏州芯矽电子科技有限公司李佳森获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利晶圆高效烘干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223623254U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422955729.6，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型晶圆高效烘干装置是由李佳森;梁一凡;陈晨;张少阳设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆高效烘干装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种晶圆高效烘干装置，包括箱体，所述箱体的底部设有出水管，其顶部开设有开口，所述开口可由密封板将其密封；所述箱体内置有用以承载晶圆的承载组件，所述承载组件可在驱动组件驱动下旋转，所述承载组件的外周环绕有用以对所述晶圆进行吹风的吹风组件，所述箱体内还设有升温加热的加热组件。本实用新型的有益效果主要体现在：布局合理，结构紧凑，晶圆在转棍的作用下旋转，可确保在清洗、风干以及烘干中清洗洁净且受热均匀，确保其良品率。另外，该驱动结构简单，便于拆卸更换及维修，极大地提高工作效率，具有较广的适用性。
本实用新型晶圆高效烘干装置在权利要求书中公布了：1.晶圆高效烘干装置，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的底部设有出水管11，其顶部开设有开口12，所述开口12可由密封板2将其密封；所述箱体1内置有用以承载晶圆100的承载组件3，所述承载组件3可在驱动组件4驱动下旋转，所述承载组件3的外周环绕有用以对所述晶圆100进行吹风的吹风组件5，所述箱体1内还设有升温加热的加热组件6。
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