佛山清溢光电有限公司洪志华获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山清溢光电有限公司申请的专利一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422724013.5，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置是由洪志华;罗成文;莫卫东设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及掩膜版生产技术领域，尤其涉及一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置，包括底座，底座顶端固定安装有电机a与plc控制器a,plc控制器a位于电机a一侧，底座顶端固定安装有支架，支架上设有掩膜版调节装置，电机a的活动轴与掩膜版调节装置固定连接，底座顶端设有CCD相机调节装置，掩膜版调节装置，包括Y轴调节机构和X轴调节机构，X轴调节机X轴调节机构活动安装在Y轴调节机构上，CCD相机调节装置，包括电机c，该装置通过电机在XY轴方向上自动旋转掩膜版，检查作业人员可通过控制面板输入角度参数或操作遥控器，实现不同角度检查掩膜版缺陷，工作人员不用从不同站位检查掩膜版，减少了来回走动，减轻了作业人员工作难度和强度。
本实用新型一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置在权利要求书中公布了：1.一种角度可调节的掩膜版缺陷检查装置，包括底座，所述底座顶端固定安装有电机a、plc控制器a、支架以及CCD相机调节装置，其特征在于，所述支架上设有掩膜版调节装置，所述电机a的活动轴与所述掩膜版调节装置底部一侧固定连接；掩膜版调节装置，包括Y轴调节机构和X轴调节机构，所述X轴调节机X轴调节机构活动安装在Y轴调节机构上；CCD相机调节装置，包括电机c，所述电机c固定安装在所述底座顶端。
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