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南阳市万杰光电有限公司吴祖森获国家专利权

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龙图腾网获悉南阳市万杰光电有限公司申请的专利一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223624144U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520220694.3,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台是由吴祖森设计研发完成,并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆表面缺陷检测领域,具体涉及一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台,包括底座,所述底座的上端通过轴承安装有转盘,所述转盘上设置有拆卸机构,所述底座的上端左部固定安装有设备架,所述设备架的上端固定安装有检测设备,所述检测设备的下端固定连接有镭射光发射器,所述转盘的下端固定连接有多个均匀分布的固定板。本实用新型通过在底座上加设转盘、挡块和限位块等结构,在使用的过程中可以通过转盘上的多个工位对晶圆进行安装,然后通过弹簧一的弹力带动限位架挤压在晶圆的外侧对晶圆进行挤压限位,从而便可通过转盘的转动依次将晶圆移动到检修设备的下方进行检测,可以有效的提升检测效率。

本实用新型一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台,包括底座1,其特征在于:所述底座1的上端通过轴承安装有转盘2,所述转盘2上设置有拆卸机构3,所述底座1的上端左部固定安装有设备架5,所述设备架5的上端固定安装有检测设备6,所述检测设备6的下端固定连接有镭射光发射器7,所述转盘2的下端固定连接有多个均匀分布的固定板8,所述固定板8的外侧固定连接有导向架9,所述导向架9的外侧滑动连接有限位架10,所述导向架9的外侧设置有弹簧一11,所述转盘2的上端固定连接有多个均匀分布的挡块13。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南阳市万杰光电有限公司,其通讯地址为:473000 河南省南阳市高新区百里奚街道岗王庄路孵化园路交叉口光电孵化园D座3楼整层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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