安徽科技学院;安徽农业大学张则文获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽科技学院;安徽农业大学申请的专利一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520214867.0，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置是由张则文;周成;张令梅;李小丹;刘靖晖设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置，包括显影装置主体，显影装置主体的正面固定设置有控制台，分隔板的底端固定连接有晶圆浸泡结构，晶圆浸泡结构的内部设有晶圆固定结构，晶圆固定结构的顶端设有控制结构，晶圆浸泡结构的底端固定连接有溶液循环结构，本实用新型一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置在保证晶圆显影质量和均匀性的同时，结构相对简单，降低了维护成本和难度，操作人员只需在控制台设定相关参数，操作相对容易，晶圆在封闭的浸泡槽内进行显影，大大保证了显影效果的稳定性，提高了装置对不同尺寸晶圆的适应性，扩大了适用范围，提高了设备的实用性和性价比，使其在市场上更具竞争力。
本实用新型一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置在权利要求书中公布了：1.一种生物传感器芯片制造用晶圆浸泡显影装置，包括显影装置主体1，其特征在于：所述显影装置主体1的正面固定设置有控制台2，所述控制台2的顶端设有显示屏3，所述显影装置主体1正面的中部设有观察窗4，所述显影装置主体1内腔的中部固定设置有分隔板5，所述分隔板5的底端固定连接有晶圆浸泡结构，所述晶圆浸泡结构的内部设有晶圆固定结构，所述晶圆固定结构的顶端设有控制结构，所述晶圆浸泡结构的底端固定连接有溶液循环结构。
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