珠海安普特科技有限公司赵建钢获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海安普特科技有限公司申请的专利齿形电极机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423076335.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型齿形电极机构是由赵建钢;郭明亮;孟祥华设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本齿形电极机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种齿形电极机构，属于等离子设备电极技术领域，本齿形电极机构包括：电极板；多个镂空部，多个镂空部均呈长条矩形，多个镂空部沿左右方向均布在电极板上，镂空部内设置有隔断层，隔断层覆盖整个镂空部，隔断层将镂空部分割形成分别位于电极板两面的矩形槽，矩形槽与电极板表面交接处形成有直角边。本齿形电极机构使等离子被限制在两块电极之间，所以每一槽电极间的蚀刻速率比较稳定，不受周边负载的影响。等离子处理后的产品表面也不会产生显著的色差；直角边增强电极的放电，蚀刻效率高。随着产品尺寸和负载的增加，电极板内刻蚀均匀性更好。
本实用新型齿形电极机构在权利要求书中公布了：1.一种齿形电极机构，其特征在于，包括： 电极板100； 多个镂空部200，多个所述镂空部200均呈长条矩形，多个所述镂空部200沿左右方向均布在所述电极板100上，所述镂空部200内设置有隔断层210，所述隔断层210覆盖整个所述镂空部200，所述隔断层210将所述镂空部200分割形成分别位于所述电极板100两面的矩形槽220，所述矩形槽220与所述电极板100表面交接处形成有直角边230。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海安普特科技有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市金湾区红旗镇工业区虹晖二路北厂房一1楼101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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