四川启赛微电子有限公司吴宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉四川启赛微电子有限公司申请的专利一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624929U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422873590.0，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装是由吴宏业;熊陈设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装，涉及半导体器件生产技术领域，该检测工装包括：支撑板、限位组件、定位组件和标记槽；支撑板用于放置贴膜后的晶圆和环形支架；限位组件设于支撑板的板面，限位组件能够沿晶圆的径向抵紧于环形支架的两对侧；定位组件设于支撑板的板面，能够横向抵紧于环形支架的两处；标记槽设置为与晶圆的待切割面半径相等的环形凹槽，且和定位组件的位置相适配。本实用新型可快速判断出贴膜是否同心度较低或偏移超标，不需要使用游标卡尺对基膜的环径测试，观察一次即可判断出晶圆的贴膜质量是否合格，贴膜晶圆的贴膜质量检测效率，不存在检测数据上的误差，检测的准确性高。
本实用新型一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装在权利要求书中公布了：1.一种贴膜晶圆的贴膜质量检测工装，其特征在于，包括：支撑板1、限位组件2、定位组件3和标记槽4；所述支撑板1用于放置贴膜后的晶圆100和环形支架101；所述限位组件2设于所述支撑板1的板面，所述限位组件2能够沿晶圆100的径向抵紧于所述环形支架101的两对侧；所述定位组件3设于所述支撑板1的板面，能够横向抵紧于所述环形支架101的两处；所述标记槽4设置为与所述晶圆100的待切割面半径相等的环形凹槽，且和所述定位组件3的位置相适配。
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