奇勗科技股份有限公司;王维新刘东波获国家专利权
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龙图腾网获悉奇勗科技股份有限公司;王维新申请的专利晶圆旋干设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423027543.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆旋干设备是由刘东波设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆旋干设备在说明书摘要公布了：一种晶圆旋干设备，包括一外套筒、一旋转组件及一平衡组件。该外套筒包括一顶部开口、一底部开口以及一连通该顶部开口与该底部开口的腔室。该旋转组件位于该外套筒内且包括一驱动元件以及一耦接该驱动元件且位于该腔室的旋转平台，该旋转平台被配置为承载至少一放置有多个晶圆的晶圆盒，且受该驱动元件驱动而相对一主轴旋转。该平衡组件耦接于该旋转平台且包括随着该旋转平台旋转且相对该主轴的一垂直方向对称设置的一第一配重块以及一第二配重块，该第一配重块相对该主轴具有一第一径向距离，该第二配重块相对该主轴具有一第二径向距离。
本实用新型晶圆旋干设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆旋干设备，其特征在于，包括： 一外套筒，定义出一顶部开口、一底部开口以及一连通该顶部开口与该底部开口的腔室； 一旋转组件，位于该外套筒内，该旋转组件包括一驱动元件以及一耦接该驱动元件且位于该腔室的旋转平台，该旋转平台被配置为承载至少一放置有多个晶圆的晶圆盒，且受该驱动元件驱动而相对一主轴旋转；以及 一平衡组件，耦接于该旋转平台，该平衡组件包括随着该旋转平台旋转且相对该主轴的一垂直方向对称设置的一第一配重块以及一第二配重块，该第一配重块相对该主轴具有一第一径向距离，该第二配重块相对该主轴具有一第二径向距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人奇勗科技股份有限公司;王维新，其通讯地址为：中国台湾新竹县竹北市东兴里十兴五街136号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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