华海清科股份有限公司李灯获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423087737.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备是由李灯;李长坤设计研发完成，并于2024-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备，其中晶圆擦洗设备包括：擦洗刷和擦洗刷调控模块；所述擦洗刷调控模块设置在所述擦洗刷的背对晶圆的一侧，并且包括朝向所述擦洗刷依次设置的伸缩模块和磁吸模块；所述擦洗刷包括第一转轴和刷头，所述第一转轴包括朝向晶圆的第一端和背对晶圆的第二端，所述第一转轴的第一端与刷头连接、第二端与所述磁吸模块磁吸连接；所述擦洗刷调控模块配置成通过所述伸缩模块的轴向伸缩调控所述擦洗刷与晶圆之间的擦洗压力。本申请通过磁吸模块和伸缩模块的设置，实现了擦洗刷与擦洗刷调控模块之间的柔性磁吸连接，并能够在擦洗过程中保持刷头向晶圆表面施加的压力恒定。
本实用新型一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆擦洗设备，其特征在于，包括：擦洗刷和擦洗刷调控模块； 所述擦洗刷调控模块设置在所述擦洗刷的背对晶圆的一侧，并且包括朝向所述擦洗刷依次设置的伸缩模块和磁吸模块； 所述擦洗刷包括第一转轴和刷头，所述第一转轴包括朝向晶圆的第一端和背对晶圆的第二端，所述第一转轴的第一端与刷头连接、第二端与所述磁吸模块磁吸连接； 所述擦洗刷调控模块配置成通过所述伸缩模块的轴向伸缩调控所述擦洗刷与晶圆之间的擦洗压力。
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