弘元新材料(徐州)有限公司;弘元绿色能源股份有限公司杨昊获国家专利权
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龙图腾网获悉弘元新材料(徐州)有限公司;弘元绿色能源股份有限公司申请的专利一种设有反吹装置的硅片吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223624963U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422659826.0,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种设有反吹装置的硅片吸盘是由杨昊;房树坤设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种设有反吹装置的硅片吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种设有反吹装置的硅片吸盘,包括硅片吸盘主体,所述硅片吸盘主体的上端位置处设置有反吹块,本装置在吸盘八个镂空位置,增加四组反吹装置,当硅片到达料盒上方,吸附电磁阀关闭同时,反吹电磁阀同时打开,通过反吹块快速将硅片脱离,反吹块固定方式为,螺栓固定后可以三百六十度旋转,方便调节反吹块的角度,头部预留气管接头接口M4,底部预留一个反吹气孔,两个接口内部相通,反吹装置控制逻辑,采用位置控制,具体逻辑如下,采集直线电机位置信息,当直线电机位置到达指定位置时同时给plc控制信号,plc通过输出控制信号控制电磁阀打开,延时30ms自动关闭,采用这种控制方式优点,控制精准,触发时间更短。
本实用新型一种设有反吹装置的硅片吸盘在权利要求书中公布了:1.一种设有反吹装置的硅片吸盘,其特征在于,包括硅片吸盘主体1,所述硅片吸盘主体1的上端位置处设置有反吹块6,所述硅片吸盘主体1的上端位置处设置有反吹气孔5,所述反吹气孔5的上端位置处安装有螺丝3,所述硅片吸盘主体1的上端位置处分布有多个镂空孔7,所述硅片吸盘主体1的下端四角位置处安装有气囊柱8,所述气囊柱8的右端位置处设置有气嘴11,所述气嘴11的右端位置处安装有防护盖9,所述气囊柱8的下端位置处设置有气膜10。
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