科芯微(江苏)微电子有限公司杨军获国家专利权
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龙图腾网获悉科芯微(江苏)微电子有限公司申请的专利一种堆叠式硅片腐蚀工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624971U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422978641.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种堆叠式硅片腐蚀工装是由杨军;高艳;关周设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种堆叠式硅片腐蚀工装在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种堆叠式硅片腐蚀工装，包括前后设置的两个侧板以及置于两个侧板之间的多组旋转定位组件，每个旋转定位组件上沿着垂直于多组旋转定位组件分布的方向依次卡设有多个硅片；旋转定位组件包括贯穿两个侧板的两个固定杆以及置于两个固定杆中心正下方的滚动杆，固定杆以及滚动杆上均具有多个均匀分布的定位槽，固定杆以及滚动杆上的定位槽依次对应分布，每个硅片嵌设在由两个固定杆以及滚动杆形成的对应定位槽内，侧板的外侧具有驱动滚动杆上下往复移动以及圆周转动的驱动组。本实用新型具有如下优点：通过设置旋转定位组件，使硅片有序堆叠并上下跳动式旋转地与腐蚀液接触，使硅片表面与腐蚀液充分接触，保证硅片表面腐蚀均匀，避免发生翘曲。
本实用新型一种堆叠式硅片腐蚀工装在权利要求书中公布了：1.一种堆叠式硅片腐蚀工装，其特征在于：包括前后设置的两个侧板1以及置于两个侧板1之间的多组旋转定位组件2，所述多组旋转定位组件2依次水平设置，每个所述旋转定位组件2上沿着垂直于多组旋转定位组件2分布的方向依次卡设有多个硅片3； 所述旋转定位组件2包括贯穿两个侧板1的两个固定杆21以及置于两个固定杆21中心正下方的滚动杆22，所述两个固定杆21以及滚动杆22之间形成容多个硅片放置的空间，所述固定杆21以及滚动杆22上均具有多个均匀分布的定位槽23，所述固定杆21以及滚动杆22上的定位槽23依次对应分布，每个硅片3嵌设在由两个固定杆21以及滚动杆22形成的对应定位槽23内，所述侧板1的外侧具有驱动滚动杆22上下往复移动以及圆周转动的驱动组24，所述硅片3随着滚动杆22的上下往复移动以及圆周转动在对应的定位槽23内自由转动。
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