细美事有限公司金俊镐获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利烘烤单元以及用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171429B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111051488.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权烘烤单元以及用于处理基板的装置是由金俊镐;李相勋;徐钟锡;张镐镇;宋京院设计研发完成，并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本烘烤单元以及用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种烘烤单元以及用于处理基板的装置。烘烤单元包括：壳体，该壳体具有上盖和下框架，该上盖和该下框架组合提供用于基板的热处理的处理空间；加热器，该加热器设置在处理空间中、以用于加热放置在该加热器上的基板；加热器杯状物，该加热器杯状物配置为围绕该加热器；以及第一吹扫气体供应单元，该第一吹扫气体供应单元用于提供第一吹扫气体流以阻止外部空气通过下框架与加热器杯状物之间的间隙流入。
本发明授权烘烤单元以及用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种烘烤单元，所述烘烤单元包括： 壳体，所述壳体具有上盖和下框架，所述上盖和所述下框架组合提供用于基板热处理的处理空间； 加热板，所述加热板设置在所述处理空间中、以用于加热放置在所述加热板上的基板并且在所述加热板中设置有用于加热基板的器件； 加热器杯状物，所述加热器杯状物配置为在与所述加热板间隔开的情况下由底壁围绕所述加热板；以及 第一吹扫气体供应单元，所述第一吹扫气体供应单元用于提供第一吹扫气体流以阻止外部空气通过在所述下框架与所述加热器杯状物之间的间隙的流入。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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