细美事有限公司林义相获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695190B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111612795.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的设备和方法是由林义相;李龙熙设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的设备和方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理设备。在实施例中，基板处理设备包括：液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理；干燥室，用于对经液体处理的基板进行干燥处理；转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及控制器，用于控制所述液体处理室和所述转移装置，其中所述转移装置包括：转移机器人，其具有用于将所述基板放置在其上的手；以及加热构件，用于加热所述基板，并且其中所述控制器控制所述转移装置，使得在所述转移装置将从所述液体处理室取出的所述基板转移到所述干燥室之前，所述转移装置的所述加热构件将所述基板上的液体加热到第一温度。
本发明授权用于处理基板的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理； 干燥室，用于利用超临界流体对经液体处理的所述基板进行干燥处理； 转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及 控制器，用于控制所述液体处理室和所述转移装置， 其中所述转移装置包括： 转移机器人，其具有用于将所述基板放置在其上的手；以及 加热构件，用于加热所述基板，并且 其中所述控制器控制所述转移装置，使得在所述转移装置将从所述液体处理室取出的所述基板转移到所述干燥室之前，所述转移装置的所述加热构件将所述基板上的液体加热到第一温度， 所述液体为有机溶剂，并且所述第一温度低于所述液体的沸点。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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