玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司M·利伯勒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利用于热处理系统的自适应控制的控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080091407.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于热处理系统的自适应控制的控制系统是由M·利伯勒;J·西贝尔;杨晓晅设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于热处理系统的自适应控制的控制系统在说明书摘要公布了：提供了一种控制系统，该控制系统可操作以训练控制调谐器，从而生成用于热处理系统的温度设定点跟踪改进。在一个示例实施方式中，通过基于模拟工件温度估值和实际工件温度估值之间的差来生成系统控制器参数调整来实现温度设定点跟踪改进。例如，系统模型可以生成模拟实际工件温度估值的模拟工件温度估值，并基于模拟和实际工件温度估值之间的差，生成克隆控制器参数调整。该克隆控制器参数调整可用于生成系统控制器参数调整，其可改进用于热处理系统的温度设定点跟踪。
本发明授权用于热处理系统的自适应控制的控制系统在权利要求书中公布了：1.一种热处理系统，包括： 处理腔室； 工件支撑件，能操作以在所述处理腔室中的热处理期间支撑工件； 一个或多个热源，能操作以在所述工件的热处理期间加热在所述处理腔室中的所述工件； 一个或多个传感器，被配置为获得与工件温度相关联的数据；以及 控制系统，被配置为执行操作，所述操作包括： 在所述工件的热处理期间至少部分地基于与第一工件的工件温度相关联的数据来确定实际工件温度估值； 使用系统模型获得针对所述第一工件的模拟温度估值，所述系统模型基于一个或多个模型参数和一个或多个控制器输出提供所述模拟温度估值； 至少部分地基于使用所述系统模型获得的所述模拟温度估值与温度设定点之间的差来调整系统控制器的一个或多个控制器参数；以及 由所述系统控制器至少部分地基于所述控制器参数来控制所述热处理系统的一个或多个操作参数，以在热处理期间调节第二工件的工件温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励