东京毅力科创株式会社舆水地盐获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置和控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114999881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210614585.0，技术领域涉及：H01J37/305；该发明授权等离子体处理装置和控制方法是由舆水地盐;广津信设计研发完成，并于2019-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置和控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供等离子体处理装置和控制方法。等离子体处理装置包括：容器；设置在所述容器内并具有电极的载置台；在所述容器内生成等离子体的等离子体源；周期性地对所述电极供给脉冲状负直流电压的偏置电源；周边环，其以包围载置于所述载置台的基片的方式配置；和对所述周边环供给直流电压的直流电源，所述直流电源被配置成，当所述脉冲状负直流电压没有被供给到所述电极时在第一期间供给第一直流电压，并当所述脉冲状负直流电压被供给到所述电极时在第二期间供给第二直流电压。本发明的目的在于提高被处理体的蚀刻形状的精度。
本发明授权等离子体处理装置和控制方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 容器； 设置在所述容器内并具有电极的载置台； 在所述容器内生成等离子体的等离子体源； 周期性地对所述电极供给脉冲状负直流电压的偏置电源； 周边环，其以包围载置于所述载置台的基片的方式配置；和 对所述周边环供给直流电压的直流电源， 所述直流电源被配置成，在所述脉冲状负直流电压没有被供给到所述电极的第一期间供给第一直流电压，并在所述脉冲状负直流电压被供给到所述电极的第二期间供给第二直流电压， 所述第二直流电压的电压值是0。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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