广东省智能机器人研究院吴寒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东省智能机器人研究院申请的专利极紫外光产生方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115119373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210605785.X，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权极紫外光产生方法及装置是由吴寒;徐晨;马新敏;马修泉;陆培祥设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外光产生方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种极紫外光产生方法及装置，极紫外光产生方法包括步骤：不同时间先后产生的激光脉冲分别进入至相应的传输路径的输入端；相对较早产生的激光脉冲经过相对较长的传输路径传递至汇聚点；来自不同传输路径的激光脉冲在汇聚后轰击液滴。激光脉冲在传输路径中传播时，在传输路径中的传播时间与传输路径的长度相关，由于多个传输路径在长度上存在差值，因而不同的激光脉冲的传播时间存在差异。通过不同传输路径上的长度差值而调整激光脉冲到达汇聚点的时间，从而能使产生次序不同的激光脉冲能在同一时间到达汇聚点，使多个能量较低的激光脉冲通过汇聚形成能量较高的激光脉冲，对液滴产生有效的轰击并获取满足功率要求的极紫外光。
本发明授权极紫外光产生方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光产生装置，其特征在于，包括： 激光器，用于依次产生多个激光脉冲； 接收组件，多个所述接收组件分别用于传递所述激光脉冲，且用于接收先产生的所述激光脉冲的所述接收组件的传输长度大于用于接收后产生的所述激光脉冲的所述接收组件的传输长度，不同的所述激光脉冲对应不同的传播时间； 调控机构，能够根据所述激光脉冲产生的先后次序将所述激光脉冲反射至相应所述接收组件的输入端，所述调控机构包括底座、转动连接于所述底座的反射件及连接于所述反射件的驱动组件；所述接收组件的输入端连接于所述底座；所述驱动组件用于驱动所述反射件相对所述底座转动并调节所述反射件相对于所述底座的角度；及 合束器：连接于所述接收组件，用于汇聚由所述接收组件输出的激光脉冲并将汇聚后的所述激光脉冲发射至液滴；且产生的不同次序的所述激光脉冲在同一时间到达所述合束器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省智能机器人研究院，其通讯地址为：523808 广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励