ASML荷兰有限公司苏静获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于机器学习辅助的光学邻近误差校正的训练方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115185163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210691732.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于机器学习辅助的光学邻近误差校正的训练方法是由苏静;卢彦文;罗亚设计研发完成，并于2018-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于机器学习辅助的光学邻近误差校正的训练方法在说明书摘要公布了：一种方法包括：获得用于训练设计图案5000的在空间上移位版本的光学邻近校正；和使用关于所述训练设计图案的在空间上移位版本的数据5051；5053以及基于用于所述训练设计图案的在空间上移位版本的光学邻近校正的数据5041；5043来训练机器学习模型5200，所述机器学习模型配置成针对设计图案预测光学邻近校正。
本发明授权用于机器学习辅助的光学邻近误差校正的训练方法在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括： 获得加权函数或数据以向设计图案的光学邻近校正的区指派与其另外的区不同的权重；和 由硬件计算机系统，通过基于加权数据相对于所述设计图案的基准光学邻近校正对设计图案的由机器学习模型预测的光学邻近校正进行评估来训练所述机器学习模型，所述机器学习模型配置成针对设计图案预测光学邻近校正。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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