株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社津间博基获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社申请的专利铝合金膜及使用该铝合金膜的半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115472695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210649128.5,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权铝合金膜及使用该铝合金膜的半导体器件是由津间博基设计研发完成,并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本铝合金膜及使用该铝合金膜的半导体器件在说明书摘要公布了:铝合金膜包括Al‑Si‑Mg合金膜,该Al‑Si‑Mg合金膜含有至少0.9重量%至1.1重量%的Si和0.1重量%至2.3重量%的Mg,并且该Al‑Si‑Mg合金膜在Al晶体中含有硅化镁晶体。半导体器件包括栅极沟槽结构、覆盖沟槽栅极结构的层间绝缘膜6、覆盖层间绝缘膜的电极膜7、绝缘层8和覆盖电极膜的导电层9。电极膜包括Al‑Si‑Mg合金膜。
本发明授权铝合金膜及使用该铝合金膜的半导体器件在权利要求书中公布了:1.用于功率半导体元件中的电极的铝合金膜,其包括: 含有至少0.9重量%至1.1重量%的Si和0.1重量%至2.3重量%的Mg的Al-Si-Mg合金膜,其中 所述Al-Si-Mg合金膜在Al晶体中含有硅化镁晶体。
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