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龙图腾网获悉芯禾科技(江苏)有限公司申请的专利离子注入机的靶盘撑杆及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497792B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211168366.0，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权离子注入机的靶盘撑杆及加工方法是由张律设计研发完成，并于2022-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子注入机的靶盘撑杆及加工方法在说明书摘要公布了：离子注入机的靶盘撑杆及加工方法，包括第一连接座、第二连接座，所述第一连接座与第二连接座通过连接杆连接，所述连接杆中部设置有滑槽，所述滑槽上下方向对称设置有若干个腰形长槽；其加工方法，包括以下步骤：选料；加工中心铣加工；脱脂；打磨；碱洗；酸洗；吹干。本发明加工方便，结构简单合理，既减轻了靶盘撑杆重量，又保证了刚度，高速离子束冲击靶盘不易产生变形，离子注入后硅片不易产生微裂纹，提高了硅片的质量，化学清洗增强了靶盘撑杆抗腐蚀能力，延长了使用寿命，并提升产品美观。

本发明授权离子注入机的靶盘撑杆及加工方法在权利要求书中公布了：1.离子注入机的靶盘撑杆的加工方法，离子注入机的靶盘撑杆，包括第一连接座1、第二连接座5，其特征在于：所述第一连接座1与第二连接座5通过连接杆2连接，所述连接杆2中部设置有滑槽4，所述滑槽4上下方向对称设置有若干个腰形长槽3； 腰形长槽深度Lc9与连接杆厚度Lb8之比为0.6~0.75； 腰形长槽底厚Ld10与连接杆厚度Lb8之比为0.25~0.4； 连接杆厚度Lb8与连接杆长度L7之比为1：38~1：40； 连接杆宽度La6与连接杆长度L7之比为1：11.5~1：12； 所述滑槽4贯穿第一连接座1、连接杆2、第二连接座5； 所述滑槽4设置为燕尾槽或T型槽； 所述第一连接座1与第二连接座5结构相同； 靶盘撑杆采用材料为：铝合金； 其加工方法，包括以下步骤： 步骤一、选料，选用铝合金板料； 步骤二、编写加工程序，UG软件编写加工成型，上加工中心加工； 步骤三、加工中心铣加工 1压板压紧工件，加工第一连接座1、第二连接座5确保总长、总宽及连接杆厚度Lb8至图纸尺寸； 2夹具夹紧工件，加工第一连接座1上安装孔11至图纸尺寸； 3夹具夹紧工件，加工第二连接座5上安装孔11至图纸尺寸； 4压板压紧工件，加工连接杆长度L7和连接杆宽度La6； 5压板压紧工件，加工滑槽4； 6压板压紧工件，加工工艺孔12； 7压板及工艺孔锁紧螺丝压紧工件，加工腰形长槽3； 步骤四、脱脂，将零件放入温度为10~45℃，浓度为8~20%的碱性脱脂剂中浸泡10~35分钟，再取出用清水洗净，吹干； 步骤五、打磨，使用百洁布及金刚石砂打磨机加工产生的所有纹路； 步骤六、碱洗：将零件浸入温度为35~60℃的10~25%氢氧化钠溶液中10~30秒，再取出用清水洗净； 步骤七、酸洗：将零件浸入含氢氟酸1~4%、硝酸10~22%的酸洗溶液中30~90秒，酸洗溶液温度为30~50℃，再取出用清水洗净； 步骤八、吹干。

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