长鑫存储技术有限公司程迪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115810555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111069602.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质是由程迪设计研发完成，并于2021-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，能够在机台完成对送入的至少一批晶圆的沉积膜层处理后，根据机台的多个腔室内壁所沉积的膜层厚度，以及当前机台对晶圆的处理顺序，确定向机台送入的下一批晶圆的批次数量，从而在机台即将进行清洗处理时，能够及时减少送入机台的晶圆的批次数量，进而能够防止送入机台的晶圆因等待机台清洗处理的时间过长而造成晶圆表面的缺陷，进而能够提高机台制造的晶圆的良品率。
本发明授权机台的控制方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种机台的控制方法，其特征在于，包括： 在所述机台完成对送入的至少一批晶圆的沉积膜层处理后，获取所述机台的多个腔室的内壁所沉积的膜层厚度； 获取所述机台对晶圆的处理顺序；其中，所述处理顺序为单线处理顺序或者多线处理顺序，所述单线处理顺序为所述机台通过所述多个腔室中的一个目标腔室对送入的晶圆进行沉积膜层处理，所述多线处理顺序为所述机台通过所述多个腔室中的至少两个目标腔室对送入的晶圆进行沉积膜层处理； 根据所述处理顺序，以及所述多个腔室中用于对所述至少一批晶圆进行处理的目标腔室的膜层厚度，确定向所述机台送入的下一批晶圆的批次数量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司，其通讯地址为：230011 安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励