苏州宏策光电科技有限公司孙航获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州宏策光电科技有限公司申请的专利一种LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116107001B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211621173.6，技术领域涉及：G02B5/08；该发明授权一种LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法是由孙航;朱运平;金长利设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于高反射极紫外元件技术领域，提供了一种LaNxLaB4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的LaNxLaB4C极紫外多层膜反射镜，包括层叠设置在基底上的多周期LaNxLaB4C层；所述多周期LaNxLaB4C层包括若干个层叠设置的LaNxLaB4C层；所述LaNxLaB4C层包括依次层叠设置的LaNx层、La层和B4C层；所述LaNxLaB4C中的LaNx层和所述基底接触。本发明在B4C层和LaNx层之间引入La层，来减少LaNx和B4C之间的相互作用，从而减少界面扩散来增强层间的光学对比度，提高LaNxLaB4C极紫外多层膜反射镜的理论反射率。
本发明授权一种LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种LaNxLaB4C极紫外多层膜反射镜，其特征在于，由层叠设置在基底上的多周期LaNxLaB4C层组成； 所述多周期LaNxLaB4C层由若干个层叠设置的LaNxLaB4C层组成； 所述LaNxLaB4C层由依次层叠设置的LaNx层、La层和B4C层组成； 所述LaNxLaB4C中的LaNx层和所述基底接触； 所述LaNx层中，0x≤1； 所述多周期LaNxLaB4C层的周期数为200~250。
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