南京大学周林获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利椭圆偏振光谱下的封装方法及测量金属介电函数的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116183517B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310272905.3,技术领域涉及:G01N21/21;该发明授权椭圆偏振光谱下的封装方法及测量金属介电函数的方法是由周林;杨程文;陈舒颖设计研发完成,并于2023-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本椭圆偏振光谱下的封装方法及测量金属介电函数的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种椭圆偏振光谱下的封装方法及金属介电函数测量方法,采用封装材料对待测材料进行封装,封装层厚度关系式一、关系式二、关系式三获取z2与z1、z3光斑区域分离的最小d值,根据最小d值进行封装可增强探测器检测数据的准确性,然后结合误差允许范围获得最终封装厚度,提升金属介电函数的精确度。
本发明授权椭圆偏振光谱下的封装方法及测量金属介电函数的方法在权利要求书中公布了:1.一种椭圆偏振光谱下的封装方法,其特征在于:采用封装材料对待测材料进行封装,封装层厚度通过以下方式获取: 光线穿过第一凸透镜入射至封装器件上,经反射后穿过第二凸透镜入射至椭偏探测器上进行检测; 获取一级反射光在探测器上的光斑位置与封装厚度d之间的关系式一,所述一级反射光为入射光经封装层表面反射后的光线; 所述关系式一为: 公式1 获取二级反射光在探测器上的光斑位置与封装厚度d之间的关系式二,所述二级反射光为入射光经封装材料-金属界面反射一次的光线; 所述关系式二为: 公式2 获取三级反射光在探测器上的光斑位置与封装厚度d之间的关系式三,所述三级反射光为入射光经封装材料-金属界面反射两次的光线; 所述关系式三为: 公式3 式中:是中心光束入射角,是中心光束折射角,是入射光束相对中心光束偏离角,是折射角,是第二凸透镜焦距,是探测器平面到第二凸透镜距离,是第一凸透镜焦点F距封装层上表面深度,n是封装层折射率; 通过关系式一、关系式二、关系式三获取光斑区域与光斑区域、光斑区域分离的最小厚度值,记所述最小厚度值为d1,所述封装厚度d>d1;根据公式1、公式2、公式3获得封装材料的最小厚度值d1。
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