福建兆元光电有限公司马野获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利PVD-AlN机台保养后的复机方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116536625B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310398310.2，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权PVD-AlN机台保养后的复机方法是由马野;宋水燕;陈灵燕;魏守进;刘恒山设计研发完成，并于2023-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本PVD-AlN机台保养后的复机方法在说明书摘要公布了：本发明涉及物理气相沉积工艺，尤其涉及PVD‑AlN机台保养后的复机方法。该复机方法，包括以下步骤S1：依次设定腔体温度为780～820℃和630～670℃进行烘烤；S2：保持腔体温度为630～670℃，分两次通入氩气和氮气，第二次通入氩气和氮气时设定SourceDC为2800～3200；S3：持续通入氩气和氮气，将温度下降到450～550℃。该复机方法，令PVD‑AlN机台的腔体依次在780～820℃和630～670℃下进行烘烤，两次烘烤分别去除腔体的水分和杂质；再持续通入氩气和氮气去除腔体内的有机化合物并降温至450～550℃。
本发明授权PVD-AlN机台保养后的复机方法在权利要求书中公布了：1.PVD-AlN机台保养后的复机方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：先将腔体温度升温至780~820℃，保持20~30min；再将腔体温度降温至630~670℃，保持10~12min； S2：保持腔体温度为630~670℃，分两次通入氩气和氮气，第二次通入氩气和氮气时设定基座上移高度为2800~3200； S3：持续通入氩气和氮气，将温度下降到450~550℃。
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