合肥工业大学赵会宁获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116538913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310528611.2,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置及测量方法是由赵会宁;王杰;侯晓莹;闻杰;于连栋;夏豪杰设计研发完成,并于2023-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置及测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置及测量方法,包括旋转轴系轴向误差运动、俯仰误差运动、径向误差运动测量装置。本发明通过斜射式激光三角法和刀片衍射现象实现测量旋转轴系在轴向方向的误差运动;通过自准直原理和小孔衍射现象实现测量旋转轴系在俯仰方向的误差运动;通过曲面边缘衍射现象实现测量径向方向的误差运动,最终实现旋转轴系的五自由度误差运动高精度测量。
本发明授权旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种旋转轴系五自由度误差运动高精度测量装置,其特征在于,包括旋转轴系轴向误差运动测量装置、旋转轴系俯仰误差运动测量装置、旋转轴系径向误差运动测量装置,其中, 所述旋转轴系轴向误差运动测量装置设置在旋转轴系的上方,包括第一激光源1、第一分束棱镜2、第一平面反射镜3、第一PD探测模块4、旋转轴系7; 所述旋转轴系轴向误差运动测量装置通过斜射式激光三角法和刀片衍射现象实现旋转轴系轴向误差运动测量;第一激光源1发出的光束经过第一分束棱镜2部分激光束到达第一平面反射镜3,反射到旋转轴系7上方的第二平面反射镜701,再通过反射到达第一PD探测模块4的刀片上,形成刀片衍射现象,衍射图样被第一PD探测模块4的PD探测器401捕捉,根据PD探测器401所接收到的能量来计算光束移动的距离,最后通过斜射式激光三角法来实现旋转轴系轴向误差运动测量;所述旋转轴系俯仰误差运动测量装置设置在旋转轴系的上方,包括第一激光源1、第一分束棱镜2、旋转轴系7、小孔5、四象限探测器6; 所述旋转轴系俯仰误差运动测量装置通过自准直原理和小孔衍射现象实现旋转轴系俯仰误差运动测量;第一激光源1发出的光束经过第一分束棱镜2、部分激光束到达旋转轴系7上方的第二平面反射镜701,经过反射原路返回,透过第一分束棱镜2到达小孔5,形成小孔衍射现象;通过自准直原理实现旋转轴系俯仰误差运动的初步测量,通过小孔衍射现象放大光斑、提高光斑的成像分辨率,进而实现高精度旋转轴系俯仰误差运动测量; 所述旋转轴系径向误差运动测量装置设置在旋转轴系的径向方向,包括第二激光源8、第二分束棱镜9、第三分束棱镜10、第一直角棱镜11、第二PD探测模块12、第三PD探测模块13、第二直角棱镜14、第四分束棱镜15; 所述旋转轴系径向误差运动测量装置通过曲面边缘衍射现象实现旋转轴系径向误差运动测量;第二激光源8发出的光束经过第二分束棱镜9形成两束光强相等的激光束,其中一束光束到达第三分束棱镜10又形成两束光强相等的光束,其中一束光束到达第一直角棱镜11反射后,与另一束平行光束经过旋转轴系7的两侧曲面边缘部分,形成曲面边缘衍射现象,两个衍射图案分别被PD探测器1301和PD探测器1302捕捉,另外一边同样被PD探测器1201和PD探测器1202捕捉;将一个方向的两个信号进行差分,实现旋转轴系径向误差运动测量。
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