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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116590669B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310590362.X，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法是由陶凯;范新媛;章家豪;梅德庆设计研发完成，并于2023-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法。加热模块安装在沉积区域模块内部下侧，气体控制模块连通沉积区域模块内部；沉积区域模块的旋转升降装置安装在蒸镀沉积装置顶部，蒸镀沉积装置连通气体控制模块。方法包括：将基底粘贴在样品托底面，在蒸发皿上放置靶材；通过旋转升降装置的升降部分移动带动基底和靶材间的距离等于预设距离；气体控制模块抽气后降气压；通过加热丝和旋转部分对靶材旋转加热形成薄膜；注入氮气，取出基底底面蒸镀好的肽薄膜。本发明设备能够高效、精准、可控的制备肽薄膜，通过自组装方法制备肽薄膜具有高度的可控性和重复性，同时设备的结构简单，制备过程易于操作，能够大规模生产肽薄膜结构。

本发明授权一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于物理气相沉积技术的肽薄膜蒸镀设备，其特征在于：包括沉积区域模块10、气体控制模块20和加热模块30，加热模块30安装在沉积区域模块10内部下侧，气体控制模块20连通沉积区域模块10内部；沉积区域模块10包括旋转升降装置和蒸镀沉积装置，旋转升降装置安装在蒸镀沉积装置顶部，蒸镀沉积装置连通气体控制模块20； 所述的蒸镀沉积装置包括真空的腔室101和两个样品托架，旋转升降装置的底端延伸至腔室101的内部并连接在水平布置的固定板135顶面，两个样品托架通过固定板135对称安装在腔室101的内部上侧，两个样品托架的顶部和旋转升降装置的下部两侧啮合，加热模块30位于两个样品托架的正下方；腔室101通过接管205连通气体控制模块20； 所述的样品托架包括样品托104、样品托座105、导电环106、陶瓷环107、圆盖108、大圆筒109、大底环110、长圆筒111、小底环112和自转齿轮113，样品托座105、导电环106、陶瓷环107、圆盖108、大圆筒109、大底环110、长圆筒111、小底环112和自转齿轮113自下而上依次水平同心布置，大圆筒109和大底环110分别布置在固定板135底面和顶面，大底环110套装在长圆筒111的外侧，长圆筒111的底端穿设过大底环110和固定板135后和大圆筒109的顶端连接；样品托座105的侧面朝自身的内部开设有安装槽，样品托104同心布置在样品托座105的安装槽内；自转齿轮113和旋转升降装置的下部啮合；样品托座105的底部朝上开设有贯通安装槽的圆形通槽，样品托104的底面中心正对圆形通槽，加热模块30位于两个圆形通槽的正下方； 所述的旋转升降装置包括旋转部分和升降部分，升降部分包括步进电机119、小带轮120、传送带121、大带轮122、传动丝杠123、传动螺母124、移动连板125、波纹管上法兰126、波纹管127、松套法兰128、下固定板129、上固定板130、支撑导向轴131、限位块133和安装板，主轴134的上端连接波纹管127的底端，波纹管上法兰126套装在波纹管127的上端，松套法兰128套装在波纹管127和主轴134的连接处，松套法兰128的外侧连接水平布置的下固定板129的一侧； 所述的升降部分还包括标尺132，标尺132竖直安装在下固定板129和上固定板130之间并靠近传动丝杠123，移动连板125靠近标尺132的一侧侧面上设有水平的指针，指针的端部指向标尺132的刻度； 所述的加热模块30包括两个加热器，每个加热器包括蒸发皿301、氮化硼片302、加热丝303、匀热板304、两个陶瓷管305、加热上屏蔽筒306、内加热屏蔽筒307、外加热屏蔽筒308、隔热板309和加热外屏蔽筒310，匀热板304为阶梯圆柱状空心筒状结构，匀热板304的上部圆筒内部设有倒圆台槽，匀热板304的下部圆筒内部设有圆柱槽，匀热板304的上部圆筒的外径大于下部圆筒的外径；蒸发皿301为倒圆台盘状，蒸发皿301放置在匀热板304上部圆筒的倒圆台槽中，蒸发皿301正对并位于各自的一个样品托架的样品托座105的圆形通槽的正下方，氮化硼片302水平安装在匀热板304下部圆筒的圆柱槽内，隔热板309水平安装并盖住匀热板304的底端，加热丝303螺旋缠绕在氮化硼片302的外圈板面上，加热丝303的两端向下穿设过隔热板309，加热丝303的两端均套装有陶瓷管305；匀热板304下部圆筒的外侧依次套装有内加热屏蔽筒307和外加热屏蔽筒308，加热上屏蔽筒306的上端套装在外加热屏蔽筒308的外侧，加热外屏蔽筒310套装在匀热板304上部圆筒和加热上屏蔽筒306的外侧面；加热上屏蔽筒306通过安装支架安装在腔室101的内部下侧。

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