长鑫存储技术有限公司陈天柱获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利分类装置、传送系统以及分类识别方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116833108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210303331.7,技术领域涉及:B07C5/02;该发明授权分类装置、传送系统以及分类识别方法是由陈天柱设计研发完成,并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本分类装置、传送系统以及分类识别方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种分类装置、传送系统以及分类识别方法,分类装置用于对晶圆承载结构进行检测和分类操作,分类装置包括:检测结构,检测结构用于检测晶圆承载结构的类型;拾取结构,与检测结构通过电信号连接,拾取结构根据检测结构检测到的类型拾取对应的分类塞并进行转移;驱动结构,包括驱动部和承载部,承载部用于与拾取结构配合以对转移的分类塞进行支撑,驱动部与承载部驱动连接,以通过驱动部将承载部上的分类塞塞入至晶圆承载结构上对应的分类孔内。通过本申请提供的技术方案,能够解决现有技术中的晶圆承载结构的分类操作的人工操作量大的技术问题。
本发明授权分类装置、传送系统以及分类识别方法在权利要求书中公布了:1.一种分类装置,其特征在于,所述分类装置用于对晶圆承载结构10进行检测和分类操作,所述分类装置包括: 检测结构20,所述检测结构20用于检测所述晶圆承载结构10的类型; 拾取结构30,与所述检测结构20通过电信号连接,所述拾取结构30根据所述检测结构20检测到的类型拾取对应的分类塞40并进行转移; 驱动结构50,包括驱动部51和承载部52,所述承载部52用于与所述拾取结构30配合以对转移的所述分类塞40进行支撑,所述驱动部51与所述承载部52驱动连接,以通过所述驱动部51将所述承载部52上的所述分类塞40塞入至所述晶圆承载结构10上对应的分类孔11内; 所述拾取结构30包括: 夹取部31,所述夹取部31与所述分类塞40相适配,以通过所述夹取部31夹取所述分类塞40; 转移部32,与所述夹取部31连接,以通过所述转移部32对所述夹取部31进行转移; 所述分类装置包括操作台60,所述操作台60上设置有取放通孔61,所述取放通孔61处设置有所述分类塞40,所述夹取部31可移动地设置在所述操作台60的上方,以夹取所述取放通孔61处的所述分类塞40; 所述操作台60上还设置有第一推动通孔62,所述第一推动通孔62与所述取放通孔61间隔设置,所述承载部52可升降地设置在所述第一推动通孔62处; 所述操作台60上设置有沿第一预设方向延伸的导向槽63,所述转移部32的至少部分位于所述导向槽63内并沿所述第一预设方向可移动地设置; 所述分类装置还包括: 支撑台70,安装在所述操作台60的上方,所述支撑台70用于支撑所述晶圆承载结构10;所述支撑台70上设置有第二推动通孔71,所述第二推动通孔71与所述第一推动通孔62相对设置,所述第二推动通孔71与所述晶圆承载结构10的分类孔11相对设置,以使所述承载部52推动所述分类塞40穿过所述第一推动通孔62和所述第二推动通孔71后进入至所述分类孔11内。
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