佳能特机株式会社菅原由季获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置及成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116892009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310302787.6，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权成膜装置及成膜方法是由菅原由季;小野岛升设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置及成膜方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种提高监视单元的监视精度的成膜装置及成膜方法。成膜装置具备：第一蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；第一监视部件，其监视来自第一蒸镀源的蒸镀物质的放出状态；第二蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；以及第二监视部件，其监视来自第二蒸镀源的蒸镀物质的放出状态，其中，具备防附着构件，所述防附着构件抑制蒸镀物质从第一蒸镀源向第二监视部件的飞散，且抑制蒸镀物质从第二蒸镀源向第一监视部件的飞散，所述防附着构件具备：第一壁部，其沿第一方向延伸设置；以及第二壁部，其从第一壁部沿与第一方向交叉的方向延伸设置，第一壁部与第二壁部的连接部在第一方向上位于第一蒸镀源及第二蒸镀源与第一监视部件及第二监视部件之间。
本发明授权成膜装置及成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，具备： 第一蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质； 第一监视部件，其相对于所述第一蒸镀源配置于第一方向，监视来自所述第一蒸镀源的蒸镀物质的放出状态； 第二蒸镀源，其相对于所述第一蒸镀源配置于与所述第一方向交叉的第二方向，向所述基板放出蒸镀物质；以及 第二监视部件，其相对于所述第二蒸镀源配置于所述第一方向，监视来自所述第二蒸镀源的蒸镀物质的放出状态， 其特征在于， 所述成膜装置具备防附着构件，所述防附着构件抑制所述蒸镀物质从所述第一蒸镀源向所述第二监视部件的飞散，且抑制所述蒸镀物质从所述第二蒸镀源向所述第一监视部件的飞散， 所述防附着构件具备： 第一壁部，其沿所述第一方向延伸设置；以及 第二壁部，其从所述第一壁部沿与所述第一方向交叉的方向延伸设置， 所述第一壁部与所述第二壁部的连接部在所述第一方向上位于所述第一蒸镀源及所述第二蒸镀源与所述第一监视部件及所述第二监视部件之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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