深圳市中图仪器股份有限公司张和君获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市中图仪器股份有限公司申请的专利用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116929572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310919910.9,技术领域涉及:G01J9/02;该发明授权用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置是由张和君;刘见桥;霍阔;陈世超设计研发完成,并于2023-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置在说明书摘要公布了:本公开描述一种用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置,包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块;发生模块用于经干涉物镜向待测样品发出测量光束,测量光束经待测样品反射在干涉物镜中形成反射光束;采样模块采集反射光束以获得用于形成关于待测样品的多帧图像的光干涉信号;数据处理模块用于:构建光干涉信号的信号强度和多帧图像的采样帧数的关系曲线;并且得到多帧图像的图像帧序和在每帧图像处关系曲线的相位的拟合斜率,根据拟合斜率求出光源的中心波长。由此,能够在测量装置上直接测量白光光源的中心波长,能够提升测量的效率和便捷性。
本发明授权用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置在权利要求书中公布了:1.一种用于白光干涉显微镜的光源中心波长的测量装置,所述测量装置基于光干涉测量技术对白光光源的中心波长进行测量,其特征在于,所述测量装置包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块;所述发生模块用于经所述干涉物镜向待测样品发出测量光束,所述测量光束经所述待测样品反射在所述干涉物镜中形成反射光束;所述采样模块采集所述反射光束以获得用于形成关于所述待测样品的多帧图像的光干涉信号;所述数据处理模块用于:构建所述光干涉信号的信号强度和所述多帧图像的采样帧数的关系曲线;对所述关系曲线中每帧图像的信号强度进行数字正交解调以得到所述关系曲线中每帧图像处的幅值和相位;利用得到的所述多帧图像的幅值序列构建所述关系曲线的包络高斯曲线,并获得所述包络高斯曲线的峰值位置;并且在所述峰值位置附近得到所述多帧图像的图像帧序和在每帧图像处所述关系曲线的相位的拟合斜率,进而根据所述拟合斜率求出所述白光光源的中心波长,其中,所述白光光源的中心波长为能量分布最大处的波长。
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