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山东工业陶瓷研究设计院有限公司王守兴获国家专利权

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龙图腾网获悉山东工业陶瓷研究设计院有限公司申请的专利一种耐高温多频谱兼容隐身材料及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117026152B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310821896.9,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种耐高温多频谱兼容隐身材料及其制备方法是由王守兴;李魏;宋涛;王营营;徐先豹;王飞;耿树文设计研发完成,并于2023-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种耐高温多频谱兼容隐身材料及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种耐高温多频谱兼容隐身材料及其制备方法,隐身材料包括基底层、第一功能层和第二功能层,所述第一功能层位于基底层上表面,所述第二功能层位于第一功能层上表面;所述第二功能层为厚度不均的二氧化钛层,所述第二功能层包括至少两种不同厚度的厚度模块。本发明第一功能层起到主要的红外波段隐身功能,第二功能层设计为厚度不均结构,通过厚度设计,在可见光波段下,展现出不同结构色,实现可见光波段隐身功能,同时兼顾了红外波段隐身,且可在高温下稳定工作。

本发明授权一种耐高温多频谱兼容隐身材料及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种耐高温多频谱兼容隐身材料,其特征在于,包括基底层、第一功能层和第二功能层, 所述第一功能层位于基底层上表面,所述第二功能层位于第一功能层上表面; 所述第二功能层为厚度不均的二氧化钛层,所述第二功能层包括至少两种不同厚度的厚度模块; 所述基底层为硅片基底或镍基合金基底;所述第一功能层为厚度均匀的硼化锆层,所述第一功能层的厚度为300-500nm; 在第一功能层上表面溅射第二功能层,得到耐高温多频谱兼容隐身材料坯体;的具体过程如下: S31、从溅射腔体中取出溅射有第一功能层的基底,根据预设的第二功能层的厚度模块分布状态,通过遮挡模具对高厚度的厚度模块分布区域进行遮挡,遮挡后置于磁控溅射沉积载台; S32、以Ti靶材作为磁控溅射靶,设定靶基距为100-500mm,在低于5×10-4Pa的真空背景下,以20-50Lmin的气流速率向溅射腔体内通入氩气以及反应气体O2至溅射气压为0.8-2Pa,在溅射功率为80-150W、沉积温度为280-400℃的条件下以10-50nmmin的溅射速率进行溅射,直至溅射厚度为未遮挡厚度模块预设厚度-预设补偿厚度; 氩气与O2的体积比为5:1-12:1;所述预设补偿厚度为5-10nm; S33、从溅射腔体中取出S32溅射后的产品,去掉未溅射的不同厚度模块分布区域中低厚度的厚度模块分布区域上的遮挡模具,根据预设的第二功能层的厚度模块分布状态,通过遮挡模具对已溅射的厚度模块以及未溅射的不同厚度模块分布区域中高厚度的厚度模块分布区域进行遮挡,遮挡后置于磁控溅射沉积载台; S34、重复S32和S33步骤,直至预设的第二功能层的厚度模块全部被溅射完成; S35、去掉所有遮挡模具,置于磁控溅射沉积载台,按照S32步骤的溅射参数进行预设补偿厚度的溅射,溅射完成后,得到耐高温多频谱兼容隐身材料坯体; 所述第二功能层的不同厚度的厚度模块的厚度均选自10-1000nm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东工业陶瓷研究设计院有限公司,其通讯地址为:255000 山东省淄博市高新区裕民路128号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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