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龙图腾网获悉合肥赛默科思半导体材料有限公司申请的专利一种半导体用石英轴抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117300868B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311378305.1，技术领域涉及：B24B29/04；该发明授权一种半导体用石英轴抛光装置是由汪日记;安华伟;王光余设计研发完成，并于2023-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体用石英轴抛光装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体用石英轴抛光装置。所述半导体用石英轴抛光装置包括安装机构，所述安装机构上设置有石英轴，所述安装机构上设置有压紧机构，且所述压紧机构与所述石英轴相接触，所述石英轴的两端分别设置有固定机构，所述固定机构上设置有转动机构，且所述转动机构与所述安装机构相连接，所述安装机构上设置有补液机构，且所述补液机构与所述石英轴相接触，所述安装机构上设置有除尘机构。本发明提供的半导体用石英轴抛光装置具有适用于多种规格和工艺、抛光过程稳定性较高、能及时清理粉尘和混合液、操作简捷的优点。

本发明授权一种半导体用石英轴抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，包括： 安装机构1，所述安装机构1上设置有石英轴2，所述安装机构1上设置有压紧机构3，且所述压紧机构3与所述石英轴2相接触，所述石英轴2的两端分别设置有固定机构4，所述固定机构4上设置有转动机构5，且所述转动机构5与所述安装机构1相连接，所述安装机构1上设置有补液机构6，且所述补液机构6与所述石英轴2相接触，所述安装机构1上设置有除尘机构7； 所述安装机构1包括设置在所述石英轴2一侧的侧板11，所述侧板11上固定安装有壳体12，且所述石英轴2位于所述壳体12内，所述壳体12的上方设置有顶板13，且所述顶板13与所述侧板11固定连接，所述壳体12内固定安装有隔板14，所述隔板14的底部固定安装有两个竖板15，且所述竖板15的底部与所述壳体12的底部内壁固定连接； 所述压紧机构3包括固定安装在所述顶板13底部的气缸31，所述气缸31的输出端上固定安装有固定板32，所述固定板32的底部设置有抛光板33，所述隔板14的顶部设置有定位槽35，且所述定位槽35的内部设置有防护垫36，且所述防护垫36的顶部与所述石英轴2相接触； 所述补液机构6包括设置在两个所述竖板15之间的储液箱61和泵体62，所述泵体62上设置有抽液管63，两个所述竖板15上设置有输液管64，所述输液管64的两端分别延伸至两个所述竖板15相互远离的一侧，且所述抽液管63的两端分别与所述储液箱61和所述输液管64相连通，所述输液管64上设置有多个支管65，且所述支管65穿过所述隔板14和所述防护垫36与所述石英轴2相接触。

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